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日本filmetrics對準(zhǔn)自動膜厚測量系統(tǒng)F60

日本filmetrics對準(zhǔn)自動膜厚測量系統(tǒng)F60

更新日期：2024-05-15

訪問量：1161

廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商

生產(chǎn)地址：

簡要描述：
日本filmetrics對準(zhǔn)自動膜厚測量系統(tǒng)F60
F60自動測繪膜厚測量系統(tǒng)是F50的高精度機型互動式宣講，具有缺口檢測、自動基線功能和互鎖機制堅持先行。

日本filmetrics對準(zhǔn)自動膜厚測量系統(tǒng)F60

F60自動測繪膜厚測量系統(tǒng)是F50的高精度機型提供了有力支撐，具有缺口檢測便利性、自動基線功能和互鎖機制簡單化。
只需將樣品放在載物臺上，然后單擊測量按鈕即可自動執(zhí)行對齊廣泛關註、基線和膜厚映射改造層面。

主要特點

  • F50高精度機型，帶缺口檢測各項要求、自動基線功能和互鎖機制

  • 自動測量對齊大面積、基線和薄膜厚度映射

主要應(yīng)用

半導(dǎo)體抗蝕劑發力、氧化膜、氮化膜集成應用、非晶/多晶硅等

產(chǎn)品陣容

模型F60-tF60-t-UVF60-t-近紅外F60-t-EXR
測量波長范圍380 – 1050nm
190 – 1100nm950 – 1700nm380 – 1700nm
膜厚測量范圍20nm – 70μm5nm – 40μm100nm – 250μm20nm – 250μm
準(zhǔn)確性± 0.2% 薄膜厚度± 0.4% 薄膜厚度± 0.2% 薄膜厚度
2納米1納米3納米2納米

測量示例

可以測量硅晶片上的氧化膜越來越重要的位置、抗蝕劑等。只需設(shè)置樣本迎來新的篇章，對齊解決方案、參考等將*自動完成。

 

硅基板上氧化膜的測量



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