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日本大冢電子Smart膜厚儀的技術(shù)特點(diǎn)

發(fā)布時(shí)間： 2025-07-14　　點(diǎn)擊次數(shù)： 23次

　　日本大冢電子(Otsuka)的Smart膜厚儀是一款手持式非常完善、高精度的測量設(shè)備，專為現(xiàn)場使用而設(shè)計(jì)。該設(shè)備能夠測量0.1μm單位的膜厚競爭力，并且具有非破壞性的測量能力又進了一步，適用于具有形狀的樣品重要意義。此外深入開展，Smart膜厚儀不受基材材質(zhì)的限制關規定，可以測量其鍍膜進一步。

　　Smart膜厚儀的測量原理基于反射分光法(光干涉法)宣講手段，這是一種非破壞性測量方法。該設(shè)備的膜厚測量范圍為1μm至50μm發行速度，顯示上限為60μm極致用戶體驗，重復(fù)精度達(dá)到2.1σ 0.01μm(SiO2膜1μm)。測量時(shí)間極短積極拓展新的領域，僅需1秒內(nèi)充分發揮，且測量層數(shù)為1層。數(shù)據(jù)輸出可以通過附屬操作屏幕顯示或以USB輸出Excel檔案應用，測量點(diǎn)大小為Φ1mm以下解決方案，重量約為1.1kg。

　　該設(shè)備還提供了筆型探頭選配成就，能夠測量狹窄區(qū)域或形狀的樣品初步建立，探頭Φ6mm。此外，還有非接觸式載臺(tái)選配，對(duì)于濕膜或半導(dǎo)體晶圓等不想接觸的樣品，可以通過自由設(shè)定探頭位置進(jìn)行非接觸測量拓展基地。這些特點(diǎn)使得Smart膜厚儀在產(chǎn)品開發(fā)積極性、產(chǎn)線設(shè)定、質(zhì)量管理以及售后服務(wù)等多個(gè)領(lǐng)域都有廣泛的應(yīng)用場景效高化。

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