日本filmetrics自動測繪膜厚測量系統(tǒng)F50 測厚儀
更新日期：2024-05-15
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簡要描述：
日本filmetrics自動測繪膜厚測量系統(tǒng)F50F50自動測繪膜厚測量系統(tǒng)是將基于光學干涉原理的膜厚測量功能與自動高速載物臺相結合的系統(tǒng)。
日本filmetrics自動測繪膜厚測量系統(tǒng)F50
F50自動測繪膜厚測量系統(tǒng)是將基于光學干涉原理的膜厚測量功能與自動高速載物臺相結合的系統(tǒng)。
以過去無法想象的速度測量規(guī)定點的膜厚和折射率。它支持從2英寸到450毫米的硅基板，并且可以規(guī)定任何測量點。
還有與大型玻璃基板兼容的可選產品要求。
主要特點
結合基于光學干涉原理的膜厚測量功能和自動高速載物臺的系統(tǒng)
以過去無法想象的速度測量規(guī)定點的膜厚和折射率
兼容2英寸至450毫米的硅基板，可規(guī)定任何測量點
主要應用
| 半導體 | 抗蝕劑認為、氧化膜運行好、氮化膜、非晶/多晶硅、拋光硅片同期、化合物半導體襯底新趨勢、?T襯底等。 |
|---|---|
| 平板 | 單元間隙鍛造、聚酰亞胺新體系、ITO、AR膜共謀發展、 各種光學膜等搖籃。 |
| 薄膜太陽能電池 | CdTe、CIGS營造一處、非晶硅等 |
| 砷化鋁鎵（AlGaAs）等多個領域、磷化鎵（GaP）等 |
產品陣容
| 模型 | F50-UV | F50 | F50-近紅外 | F50-EXR | F50-UVX | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 測量波長范圍 | 190-1100nm | 380-1050nm | 950-1700nm | 380-1700nm | 190-1700nm | |
| 膜厚測量范圍 | 5nm-40μm | 20nm-70μm | 100nm-250μm | 20nm-250μm | 5nm-250μm | |
| 準確性* | ± 0.2% 薄膜厚度 | ± 0.4% 薄膜厚度 | ± 0.2% 薄膜厚度 | |||
| 1納米 | 2納米 | 3納米 | 2納米 | 1納米 | ||
| 測量光斑直徑 | 兼容標準1.5mm 0.5mm、0.2mm統籌、0.1mm（可選） | |||||
| 光源 | 氘· 鹵素 | 鹵素 | 氘· 鹵素 | |||
