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日本Otsuka顯微分光測厚儀OPTM系列技術(shù)解析

發(fā)布時間： 2025-07-14　　點(diǎn)擊次數(shù)： 19次

　　日本Otsuka顯微分光測厚儀OPTM系列是一款高精度測量設(shè)備，廣泛應(yīng)用于研發(fā)和質(zhì)量控制領(lǐng)域註入新的動力。該設(shè)備通過顯微分光技術(shù)實(shí)現(xiàn)高精度膜厚和光學(xué)常數(shù)測試改善，具備快速測量、安全結(jié)構(gòu)及個性化定制等功能提高。OPTM系列顯微分光膜厚儀能夠測量絕對反射率、多層膜厚、折射率和消光系數(shù)長效機製，納米級測量，精度高聽得進。該設(shè)備采用分光干涉法深入，可進(jìn)行非破壞性和非接觸式厚度測量，測量速度可達(dá)1秒/點(diǎn)服務體系。

　　OPTM系列的技術(shù)特點(diǎn)包括非接觸進展情況、非破壞式測量，量測頭可自由集成在客戶系統(tǒng)內(nèi)特點，高精度研究、高再現(xiàn)性量測紫外到近紅外波段內(nèi)的絕對反射率，可分析多層薄膜厚度綠色化發展、光學(xué)常數(shù)(n：折射率去創新、k：消光系數(shù))。單點(diǎn)對焦加量測在1秒內(nèi)完成應用創新，顯微分光下廣范圍的光學(xué)系統(tǒng)(紫外 ~ 近紅外)體系，獨(dú)立測試頭對應(yīng)各種inline定制化需求，最小對應(yīng)spot約3μm和諧共生。

　　此外提高，OPTM系列還具有技術(shù)，如反射對物鏡用上了，可物理性去除透明基板的里面反射結構，實(shí)現(xiàn)高精度測定。3微米微區(qū)測量功能的特性，通過軟件同時顯示樣品畫面和測定光采取部位競爭力所在，可很好確認(rèn)到測定點(diǎn)。自動高精度mapping樣品臺高效，標(biāo)配XY自動平臺情況，僅需輸入坐標(biāo)即可自動多點(diǎn)檢測大面積樣品，實(shí)時獲取厚度分布圖。

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