噴霧方式は外部混合二流體ノズルになります深入實施。噴霧仕様を案內頂き設計致しますので、ぜひご利用ください不同需求。設備取り付けに合わせたノズル形狀で制作が可能です業務指導。
日本進口二流體噴嘴納米噴頭半導體行業(yè)用
在我們身邊的各種電子設備中使用的半導體發行速度。近來極致用戶體驗,半導體的重要性進一步提高,與此相結合積極拓展新的領域,半導體的品質提高是必須的充分發揮。在半導體制造裝置中與時俱進,清洗硅片的半導體清洗裝置是去除導致半導體質量下降的垃圾等異物的重要設備。在半導體清洗裝置中解決方案,在將純水和藥劑吹到硅片上的清洗工序中更優質,多使用1流體和2流體的噴嘴。
附著在對象物上的異物和污垢初步建立,從0.1℉的垃圾中微量的重金屬原子項目、碳分子、油脂等各種各樣重要方式,其中也有至今為止的噴霧無法清洗綜合運用、除去的東西。根據異物的不同有難以除去的東西增產,不能充分發(fā)揮作為清洗裝置的性能脫穎而出。另外,半導體清洗裝置的內部開展研究,只有復雜而有限的空間高質量,可以搭載的噴嘴有限。為此力量,本事例的顧客,尋找著①適合裝置的緊湊形狀,②清洗能力高確實能除去異物方式之一,③清洗時間能縮短的噴嘴。
特長
微辽羁陶J識;匦预藘?yōu)れた二流體ノズル
耐酸性首要任務、耐アルカリ性に優(yōu)れたPEEK樹脂を採用
低粘度から高粘度までの微粒化噴霧が可能
重量はわずか15g
液通路徑が大きく新型儲能、詰まり対策に有効
専用設計品
日本進口二流體噴嘴納米噴頭半導體行業(yè)用
耐食性に優(yōu)れ、粘性流體の微涟l展空間;瘔T布に最適なPEEK型
二流體ノズル
半導體精密洗浄
純水噴霧
エッチングでの薬液使用
液晶製造裝置への組込み
日本進口二流體噴嘴納米噴頭半導體行業(yè)用