日本進(jìn)口二流體噴嘴納米噴頭半導(dǎo)體行業(yè)用

在我們身邊的各種電子設(shè)備中使用的半導(dǎo)體關註度。近來研究與應用，半導(dǎo)體的重要性進(jìn)一步提高穩中求進，與此相結(jié)合，半導(dǎo)體的品質(zhì)提高是必須的發展契機。在半導(dǎo)體制造裝置中共享，清洗硅片的半導(dǎo)體清洗裝置是去除導(dǎo)致半導(dǎo)體質(zhì)量下降的垃圾等異物的重要設(shè)備。在半導(dǎo)體清洗裝置中產品和服務，在將純水和藥劑吹到硅片上的清洗工序中應用擴展，多使用1流體和2流體的噴嘴。

附著在對象物上的異物和污垢增多，從0.1℉的垃圾中微量的重金屬原子活動上、碳分子、油脂等各種各樣進一步推進，其中也有至今為止的噴霧無法清洗導向作用、除去的東西。根據(jù)異物的不同有難以除去的東西示範推廣，不能充分發(fā)揮作為清洗裝置的性能堅持好。另外，半導(dǎo)體清洗裝置的內(nèi)部大幅增加，只有復(fù)雜而有限的空間特性，可以搭載的噴嘴有限。為此等特點，本事例的顧客建言直達，尋找著①適合裝置的緊湊形狀，②清洗能力高確實(shí)能除去異物將進一步，③清洗時(shí)間能縮短的噴嘴充分發揮。

特長

微粒化特性に優(yōu)れた二流體ノズル

耐酸性成就、耐アルカリ性に優(yōu)れたPEEK樹脂を採用

低粘度から高粘度までの微林匾绞?；瘒婌Fが可能

重量はわずか15g

液通路徑が大きく、詰まり対策に有効

日本進(jìn)口二流體噴嘴納米噴頭半導(dǎo)體行業(yè)用

耐食性に優(yōu)れ營造一處、粘性流體の微粒化塗布に最適なPEEK型

二流體ノズル

半導(dǎo)體精密洗浄

純水噴霧

エッチングでの薬液使用

液晶製造裝置への組込み

日本進(jìn)口二流體噴嘴納米噴頭半導(dǎo)體行業(yè)用