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日本nanophoton帶晶圓載物臺的拉曼顯微鏡 行業(yè)專用儀器儀表
更新日期：2024-05-16
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廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
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日本nanophoton帶晶圓載物臺的拉曼顯微鏡 RAMANdrive
RAMANdrive 是一款專用于半導(dǎo)體分析的拉曼顯微鏡更加廣闊，配備 300 毫米晶圓載物臺求索。
載物臺可以準(zhǔn)確平穩(wěn)地移動到晶圓上所需的位置運行好，實(shí)現(xiàn)高性能拉曼光譜成像分析應用創新。
配備專有的 300mm 晶圓載物臺
配備專用載物臺健康發展，可放置300mm的大直徑晶圓有效保障。真空吸附機(jī)構(gòu)使晶圓保持水平并將其牢固地固定在平臺上。由于載物臺具有較寬的可移動范圍長效機製，因此可以在視野中心從晶圓邊緣到邊緣的任何位置進(jìn)行捕捉和測量講實踐。晶圓以外的高樣品可以放置在平臺的凹槽中。
用于快速可靠地捕獲測量目標(biāo)的載物臺導(dǎo)航
高性能拉曼光譜成像
為了顯著提高拉曼圖像的采集速度，我們開發(fā)了一種的線照明技術(shù)改革創新，將激光束拉伸成一條線并照射到樣品上知識和技能。從樣品上的線形照明區(qū)域同時檢測到 400 個拉曼光譜。此外新模式，通過安裝高精度掃描鏡實現，實(shí)現(xiàn)了激光束掃描成像。規(guī)定分析區(qū)域后組織了，無需移動載物臺服務體系，只需幾分鐘即可獲得超過 100,000 像素的高清拉曼圖像。
RAMANdrive 配備高質(zhì)量的共焦光學(xué)器件搶抓機遇，在所有 XYZ 方向上擁有的空間分辨率分析。這種高分辨率還有助于顯著提高 100 nm 或更小的微粒的檢測靈敏度。出色的光譜分辨率和峰值定位精度能夠?qū)?yīng)力和多型進(jìn)行高度準(zhǔn)確的分析全面闡釋。
識別 100 nm 或更小的微小異物
空間分辨率顯著提高了對小于光斑尺寸的顆粒的檢測靈敏度非常激烈。選配的高品質(zhì)暗場觀察功能可清晰確認(rèn)100nm以下微小異物的位置，高精度激光束掃描將激光束準(zhǔn)確照射到異物中心集中展示嵙υ鰪?？梢垣@得具有高信噪比的拉曼光譜，從而可以高精度地識別污染物探索創新。
3D 拉曼成像以可視化應(yīng)力分布
RAMANdrive 配備高性能共焦光學(xué)器件帶來全新智能，可對 SiC、GaN 和金剛石等透明樣品進(jìn)行深度成像新產品。通過斷層拉曼成像獲得的 SiC 晶片中應(yīng)力分布的數(shù)據(jù)表明去完善，研磨劃痕引起的應(yīng)力通過拋光得到了降低。
日本nanophoton帶晶圓載物臺的拉曼顯微鏡 RAMANdrive
規(guī)格
主要業(yè)績
| 空間分辨率（X/Y/Z） | 350nm/500nm/1000nm (@532nm, 100x 0.90NA) |
|---|---|
| 光譜測量范圍 | 100 cm -1 ~ (選項(xiàng)：50 cm -1 ~) |
| 光譜分辨率 (FWHM) | 1.2cm -1 (@785nm, 1200g/mm) |
| 光譜像素分辨率 | 0.4cm -1 /pixel (@785nm, 1200 g/mm) |
| 峰值定位精度 | 0.1cm -1 (@532nm, 2400g/mm) |
主要規(guī)格
| 激光波長 | 325nm長遠所需、355nm求索、488nm、532nm規模、671nm穩定發展、785nm等 |
|---|---|
| 激光照射方式 | 點(diǎn)光源/線光源 |
| 光譜儀焦距 | 550mm |
| 光柵 | 內(nèi)置 3 張 150、300聯動、600增持能力、1200、1800行業內卷、2400 g/mm |
| 探測器 | 熱電冷卻 CCD 1340 × 400 像素 |
車身尺寸和重量
| 尺寸（寬x高x深） | 1276×1350×1320mm（含防震臺） |
|---|---|
| 重量 | 390kg（含防震臺） |
