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日本fuji多組分密度計FUD-1 Model-53

日本fuji多組分密度計FUD-1 Model-53

更新日期：2024-05-15

訪問量：1448

廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商

生產(chǎn)地址：

簡要描述：
日本fuji多組分密度計FUD-1 Model-53
該型號在保留 FUD-1 Model-53 的可維護性和高精度在線測量等優(yōu)點的同時引領作用，采用了用于半導體制造過程的小型單元型變送器知識和技能。

日本fuji多組分密度計FUD-1 Model-53

產(chǎn)品概覽

該型號在保留 FUD-1 Model-53 的可維護性和高精度在線測量等優(yōu)點的同時，采用了用于半導體制造過程的小型單元型變送器強大的功能。

多組分密度計的特點

3 個組件中的 2 個組件密度計側(cè)可以實時進行

  • 配備模擬DC 4至20mA（2系統(tǒng)）和數(shù)字RS232C作為標準設備

  • 標配測量誤差輸出和報警輸出

  • 標配自診斷功能和錯誤信息顯示

  • 緊湊輕便的單元式變送器可直接安裝在線路上

  • 由于使用 PFA 的接液部件的質(zhì)量和小輸出設計新的動力，對化學溶液沒有影響長期間。


優(yōu)點

  • 可進行高精度連續(xù)測量

  • 免維護集成，無需定期調(diào)整和校準

  • 安裝方便規模最大，安裝過程中無需進行各種調(diào)整

  • 通過實時輸出輕松反饋過程


用途

  • CMP工藝中的CMP漿料和氧化劑濃度控制等。

  • 清洗過程中清洗液濃度控制（HF+HNO3、HF+H2SiF6等）

  • 蝕刻工藝中蝕刻液濃度控制（TMAH+抗蝕劑重要手段、TMAH+Si等）



日本fuji多組分密度計FUD-1 Model-53

規(guī)格

模型FUD-1 Model-53
 轉(zhuǎn)換器
測量參數(shù)超聲波傳播速度/溫度/電導率
展示LCD（濃度1、濃度2橫向協同、溫度不折不扣、聲速、電導率/各種參數(shù)）
輸出信號模擬DC4～20mA：2系統(tǒng)（可自由設定濃度值）
數(shù)字RS232C（濃度1穩定性、濃度2最深厚的底氣、聲速、溫度資源優勢、電導率應用擴展、錯誤代碼）
報警上限/下限 測量誤差：2系統(tǒng)
電源AC100V-240V 50/60Hz兩用30VA（也可使用DC24V）
結構體面板安裝型（符合 DIN 標準）
環(huán)境溫度傳感器0-50℃
RH 85% 以下（無凝露）
功能輸出范圍設置功能、報警輸出設置功能堅實基礎、密度顯示移動平均功能積極、密度顯示偏移和增益設置功能、自診斷功能還不大、故障安全功能好宣講、異常值取消功能、溫度時間常數(shù)校正
選項溫度輸出（DC4～20mA）
RS485輸出（不能與RS232C同時輸出）
通道（校準曲線）高達 7 通道
兼容變送器示例SA-20S29 + 電導率計，SA-20S27 + 電導率計



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