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日本hrd-therma微小區(qū)域熱擴散率檢測TM3
更新日期：2024-05-14
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廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
生產(chǎn)地址：
簡要描述：
日本hrd-therma微小區(qū)域熱擴散率檢測TM3它是世界上一個能夠?qū)嵛锢硖匦赃M行非接觸和高分辨率測量的設(shè)備覆蓋範圍。3 μm的檢測光斑直徑可在微小區(qū)域內(nèi)進行高分辨率熱物理特性測量（點/線/面測量）還不大。
日本hrd-therma微小區(qū)域熱擴散率檢測TM3
特征
熱物理特性顯微鏡是一種測量熱擴散率的設(shè)備，熱擴散率是熱物理特性值之一品牌。
它是一種可以用點方案、線和面測量樣品的熱特性的設(shè)備拓展基地。
還可以測量微米量級的熱物理特性分布的發生，這在傳統(tǒng)的熱物理特性測量設(shè)備中被認(rèn)為是困難的融合。
它是世界上一個能夠?qū)嵛锢硖匦赃M行非接觸和高分辨率測量的設(shè)備。
3 μm的檢測光斑直徑可在微小區(qū)域內(nèi)進行高分辨率熱物理特性測量（點/線/面測量）相結合。
由于可以通過改變深度范圍進行測量提升，因此可以從薄膜/多層膜到塊狀材料進行測量。
您還可以測量基板上的樣品相關性。
使用激光進行非接觸式測量競爭力。
可以檢測薄膜下的裂紋、空隙和剝落的必然要求。
熱物理顯微鏡測量原理（概述）
在樣品上形成金屬薄膜技術節能，并用加熱激光定期加熱。
由于金屬的反射率具有隨表面溫度變化的特性（熱解法）發展基礎，因此通過捕捉與加熱激光同軸照射的檢測激光的反射強度變化來測量表面的相對溫度變化延伸。做。
熱量從金屬薄膜傳播到樣品要求，導(dǎo)致表面溫度響應(yīng)出現(xiàn)相位延遲。該相位延遲取決于樣品的熱特性。通過測量加熱光和檢測光之間的相位延遲來獲得熱擴散率不斷發展。
主要規(guī)格
| 名稱/產(chǎn)品名稱 | 熱物理顯微鏡/熱顯微鏡 |
|---|---|
| 測量模式 | 熱物性分布測量（1D便利性、2D、1點） |
| 測量項目 | 熱擴散率非常重要，（熱擴散率）實事求是，（熱導(dǎo)率） |
| 檢測光斑直徑 | 約 3 μm |
| 1點測量標(biāo)準(zhǔn)時間 | 10 秒 |
| 待測薄膜 | 厚度從幾百納米到幾十微米 |
| 重復(fù)精度 | Pyrex 和硅的熱擴散率小于 ± 10% |
| 樣本 | 1. 樣品架 30 mm x 30 mm 厚度 5 mm 2. 板狀樣品 30 mm x 30 mm 或更小且 3 mm 或更小
|
| 工作溫度限制 | 24°C±1°C（根據(jù)設(shè)備內(nèi)置的溫度傳感器） |
| 舞臺移動距離 | ? X 軸方向 20mm ? Y 軸方向 20mm ? Z 軸方向 10mm |
| 加熱用激光 | 半導(dǎo)體激光波長：808nm |
| 檢測用激光 | 半導(dǎo)體激光波長：658nm |
| 電源 | 交流 100V 1.5kVA |
| 標(biāo)準(zhǔn)配件 | 樣品架結構，參考樣品 |
| 選項 | 光學(xué)平臺、空調(diào)落到實處、空調(diào)房效果、濺射設(shè)備 |
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