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日本dip評估裝置（膜厚計）AFW-100W
更新日期：2024-05-12
訪問量：1419
廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
生產(chǎn)地址：
簡要描述：
日本dip評估裝置（膜厚計）AFW-100W與SEM和測針型輪廓儀不同，無需接觸即可進行測量在此基礎上。-與橢偏儀相比規定，價格低廉且易于使用支撐作用。
日本dip評估裝置（膜厚計）AFW-100W
日本dip評估裝置（膜厚計）AFW-100W
評估裝置（膜厚計）
建議將反射光譜膜厚計用于硬涂層等膜厚測量應(yīng)用大局。
[機理]當(dāng)
用光照射樣品時結果，取決于膜的厚度，它顯示出*的光譜特性。膜表面上反射的光與穿過膜并在基板表面上反射的光相互干擾服務機製。當(dāng)光的相位匹配時，強度增加不負眾望，而當(dāng)光的相位偏移時共同學習，強度降低交流研討。反射法是通過分析該光譜來測量膜厚的方法推動並實現。
[優(yōu)點]-
與SEM和測針型輪廓儀不同，無需接觸即可進行測量順滑地配合。
-與橢偏儀相比更加完善，價格低廉且易于使用。
將來也可以將其安裝在量產(chǎn)設(shè)備中共同努力。
| 模型 | AFW-100W |
|---|---|
| 用 | 一般膜厚 |
| 設(shè)備配置 | 單元本體保持競爭優勢，測量架，2分支光纖（1.5m）發展邏輯，PC |
| 測量波長范圍 | 380-1050納米 |
| 膜厚測量范圍 | 100nm?1μm（曲線擬合法） |
| 1μm至60μm（FFT） | |
| 測量重現(xiàn)性 | 0.2％-1％（取決于膠片質(zhì)量） |
| 測量光斑直徑 | 約7mm |
| 光源 | 12V-50W鹵素?zé)?/font> |
| 測量理論 | 曲線擬合法/ FFT法 |
| 外形尺寸（mm） | 尺寸支架：W150 x D150 x H115 |
| 機身：W230 x D230 x H135 | |
| 大概重量 | 5.5kg *不包括PC |
| 公用事業(yè) | AC100V 50/60赫茲 |
| 轟天猛將 | 鹵素?zé)?/font> |
測量工作量
從傳感器正下方的深度尺寸（黃色箭頭）：
可以測量126毫米8英寸晶圓方案。
顯微分光膜測厚儀
通過使用顯微鏡追求卓越，可以測量過去無法測量的具有不規(guī)則性的電子元件和曲面透鏡。
| 名稱 | 顯微分光膜測厚儀 |
|---|---|
| 設(shè)備配置 | 顯微鏡深入，機身合理需求，光纖（1m），PC |
| 顯微鏡 | 奧林巴斯金相顯微鏡 |
| 測量波長范圍 | 380-700納米 |
| 膜厚測量范圍 | 50nm-1.5μm（C / F） |
| 1.5μm至50μm（FFT） | |
| 測量重現(xiàn)性 | 0.2％-1％（取決于膠片質(zhì)量） |
| 測量光斑直徑 | Φ6μm至Φ120μm |
| 光源 | 12V-100W鹵素?zé)?/font> |
| 測量理論 | 曲線擬合法/ FFT法 |
| 外形尺寸（mm） | 顯微鏡：W317.5 x D602 x H480 |
| 機身：W230 x D230 x H135 | |
| 大概重量 | 25kg *不包括PC |
| 公用事業(yè) | AC100V 50/60赫茲 |
| 轟天猛將 | 鹵素?zé)?/font> |
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