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電子元件氧氣計-日本TORAY氧化鋯式氧氣計產品介紹
發(fā)布時間: 2021-08-24 點擊次數(shù): 1136次電子元件氧氣計-日本TORAY氧化鋯式氧氣計產品介紹
MS-500、LC-450A、LC-450D意見征詢、LC-860
氧氣計 MS-500
最多可同時測量 8 個點
可以顯示從 ppm 級到 99% 的各種濃度。
適合安裝在半導體制造設備品質、真空設備等上。
傳感器為直插式(NW 法蘭用于真空 16/25/40)
高度耐用的傳感器采用特殊涂層,以進一步提高耐用性將進一步。
MS-500 設備規(guī)格
測量原理 氧化鋯濃縮電池供電 形狀 分離式(轉換器:壁掛式廣泛認同,傳感器:直插式) 顯示方式 數(shù)字4位顯示(濃度顯示) 測量范圍 0-1 / 10/100 / 1000ppm / 1/10 / 100vol% O 2 10 -20 ~ 10 -0 atm
自動量程重復性 在 ± 0.5% FS 0-1% 范圍內或更多
± 1% FS 或更少或 ±
0.1ppm更大 0-1% 范圍小于0-1ppm國際要求,atm 范圍超出保證濃度范圍測量點數(shù) 1-8 樣氣條件 壓力 10 -3~ 200 KPa(絕壓) 流量 0.5-5,000 mL/min 或 0 mL/min(自然擴散狀態(tài)的測量) 濕度 露點低于環(huán)境溫度 溫度 0-100℃ 其他 不含腐蝕性氣體(氟系氣體、氯系氣體鍛造、硫系氣體等)競爭激烈、含有機硅的氣體、可燃成分(包括瓦斯)改善、油空白區、水。 比較氣體 氣氛 錄音機輸出 僅傳輸輸出 傳輸輸出 RS-232C 報警輸出 沒有 預熱時間 6分鐘內 尺寸 MS-500(控制器) 92 (W) x 44 (H) x 120 (D)(不包括突出部分) MS-510(轉換器) 100 (W) x 40 (H) x 88 (D)(不包括突出部分) 傳感器單元 SD16NW 全長100mm(感應部分Φ11×39廣泛關註,本體部分Φ40×51) SD25NW 全長100mm(感應部分Φ11×42促進進步,本體部分Φ40×48) SD40NW 全長100mm(感應部分Φ11×41,本體部分Φ40×49) 質量 MS-500(控制器) 約0.6Kg MS-510(換能器) 約0.5kg 傳感器單元 SD16NW 約0.2Kg SD25NW 約0.2Kg SD40NW 約0.35Kg 外部連接 真空法蘭之一(NW16優勢領先、25迎來新的篇章、40) 使用的電源 24VDC ± 10% 氧氣計LC-450A、LC-450D
可以顯示從測量的ppm 水平到 99% 的廣泛濃度范圍薄弱點。提高傳感器的耐用性
氧傳感器經過特殊處理以提高其耐用性。交流寬電源 AC100-240VAC (LC-450A)
* LC-450D由24V DC驅動緊湊且易于安裝
深度比我們的傳統(tǒng)型號更短優化程度,并且不占用太多空間積極性。符合 RoHS 指令的產品
CE標志自我聲明產品
EN61010-1:2002、EN61326:+A3:2003
LC-450A 設備規(guī)格
測量原理 氧化鋯濃縮電池供電 形狀 桌面型/面板安裝型 顯示方式 數(shù)字4位顯示(濃度顯示) 測量范圍 0-1 / 10/100 / 1000ppm / 1/10 / 100vol% O 2 10 -20 ~ 10 -0 atm 自動量程 重復性 ± 1% FS 0-1ppm內不斷豐富,atm范圍超出保證濃度范圍 抽樣方法 內置泵連續(xù)吸入型 樣氣條件 壓力 加壓30KPa以下 流量 1,000-2,000 毫升/分鐘 濕度 露點低于環(huán)境溫度 溫度 0-50℃ 其他 不含腐蝕性氣體(氟系氣體實施體系、氯系氣體、硫系氣體等)各有優勢、含有機硅的氣體效果較好、可燃成分(包括瓦斯)、油持續、水等多個領域。 比較氣體 氣氛 錄音機
輸出氧氣濃度輸出 在 4-20mA 和 0-20mA 之間切換(可選 0-10V) 絕緣再獲,負載電阻 550Ω 或更少
記錄儀輸出范圍是滿量程,線性輸出到氧氣濃度輸出范圍 0-99%, 0-1000ppm, 0-100ppm, 0-10ppm 自動/固定量程 傳輸輸出 RS-232C 報警輸出 FAIL(設備錯誤) 1分 無電壓接點應用擴展,接點容量30VDC/AC以下體驗區,0.5A以下
因設備異常接點閉合(接點動作可變更)ALM(濃度報警) 2 分(高 / 高) 無電壓接點,接點容量 30VDC/AC 以下活動上,0.5A 以下有望,
發(fā)生報警時接點閉合(接點動作可變更)RDY(預熱信號) 1分 無電壓接點,接點容量30VDC/AC以下生產能力,0.5A以下 無電壓接點的最小開關容量為12V以上標準,無法處理微小負載。
MRK(范圍標記)輸出 2分 無電壓接點堅持好,接點容量30VDC/AC以下即將展開,0.5A以下 預熱時間 5分鐘內 尺寸 身體 210 (W) x 134 (H) x 300 (D) mm(不包括突出部分) 質量 約6kg 氣體
連接口入口 RC1 / 4 旁路輸出 RC1 / 4 奧特萊斯 RC1 / 4 使用的電源 100-240VAC, 50VA (穩(wěn)定: 35VA) 50Hz / 60Hz LC-450D 設備規(guī)格
測量原理 氧化鋯濃縮電池供電 形狀 桌面型/面板安裝型 顯示方式 數(shù)字4位顯示(濃度顯示) 測量范圍 0-1 / 10/100 / 1000ppm / 1/10 / 100vol% O 2 10 -20 ~ 10 -0 atm 自動量程 重復性 ± 1% FS 0-1ppm內,atm范圍超出保證濃度范圍 抽樣方法 內置泵連續(xù)吸入型 樣氣條件 壓力 加壓30KPa以下 流量 ~ 1,500L/分鐘 濕度 露點低于環(huán)境溫度 溫度 0-50℃ 其他 不含腐蝕性氣體(氟系氣體特性、氯系氣體傳承、硫系氣體等)、含有機硅的氣體的積極性、可燃成分(包括瓦斯)綠色化發展、油、水不久前。 比較氣體 氣氛 錄音機
輸出氧氣濃度輸出 0-10VDC用上了,絕緣,負載電阻600kΩ或多個
(可選:4-20mA的DC能力建設,絕緣關註,負載電阻550Ω或更小)
記錄器輸出范圍是滿量程和線性輸出到氧濃度輸出范圍 0-99%, 0-1000ppm, 0-100ppm, 0-10ppm 自動/固定量程 傳輸輸出 RS-232C 報警輸出 FAIL(設備錯誤) 1分 無電壓接點無障礙,接點容量30VDC/AC以下連日來,0.5A以下
因設備異常接點閉合(接點動作可變更)ALM(濃度報警) 2 分 (L / LL) 無電壓接點,接點容量 30VDC/AC 以下認為,0.5A 以下系統,
發(fā)生報警時接點閉合(接點動作可變更)RDY(預熱信號) 1分 無電壓接點,接點容量 30VDC/AC 以下重要意義,0.5A 以下
預熱運行時接點閉合(接點動作可變更)無電壓接點的最小開關容量為12V或20mA以上交流等,無法處理微小負載。
MRK(范圍標記)輸出 2分 無電壓接點規劃,接點容量30VDC/AC以下數字化,0.5A以下 預熱時間 5分鐘內 尺寸 身體 240 (W) x 134 (H) x 210 (D) mm(不包括突出部分) 質量 約5公斤 氣體
連接口入口 RC1 / 8 旁路輸出 RC1 / 8 奧特萊斯 RC1 / 8 使用的電源 24VDC ± 10%,1.25A(30VA基礎上,穩(wěn)態(tài)) 氧氣計LC-860
低濃度測量 可測量從
ppb級到99%操作簡單
按鍵操作簡單吹掃功能
比較 氣體更穩(wěn)定各領域,測量精度更高(帶吹掃功能的規(guī)格)。高可靠性傳感器 傳感器
內部也可進行劣化防止處理(可選)
LC-860 設備規(guī)格
測量原理 氧化鋯濃縮電池供電 形狀 桌面型/面板安裝型 顯示方式 數(shù)字6位顯示(濃度顯示) 測量范圍 0-1 / 10/100 / 1000ppm / 1/10 / 100vol% O 2 10 -20 ~ 10 -0 atm
自動/固定量程重復性
氧濃度在±1%FS以內保持競爭優勢,小于1ppm和0-1ppm進行培訓,atm范圍在保證濃度范圍之外抽樣方法 內置泵連續(xù)吸入型 樣氣條件 壓力 加壓30KPa以下 流量 ~ 1,500 毫升/分鐘 濕度 露點低于環(huán)境溫度 溫度 0-50℃ 其他 不含腐蝕性氣體(氟系氣體、氯系氣體長效機製、硫系氣體等)法治力量、含有機硅的氣體、可燃成分(包括瓦斯)分享、油共享、水。 比較氣體 氣氛 錄音機
輸出氧氣濃度輸出 4-20mA / 0-10V 4-20mA
: 絕緣方式之一,負載電阻 600Ω 或更小
0-10V: 絕緣解決方案,負載電阻 500Ω 或更大
記錄儀輸出范圍是滿量程,線性輸出到氧濃度輸出范圍 0-99%, 0-10%, 0-1%, 0-1000ppm, 0-100ppm, 0-10ppm, 0-1ppm, 10 -20 -10 -0 或任何4個范圍的自動/固定范圍 傳輸輸出 RS-232C 報警輸出 FAIL(設備錯誤) 1分 無電壓接點有力扭轉,接點容量24VDC/AC以下上高質量,0.1A以下
因設備異常接點閉合(接點動作可變更)ALM(濃度報警) 2分 無電壓接點,接點容量 24VDC/AC 以下廣度和深度,0.1A 以下深入交流,
發(fā)生報警時接點閉合(接點動作可變更)RDY(預熱信號) 1分 無電壓接點,接點容量 24VDC/AC 以下加強宣傳,0.5A 以下
預熱動作時接點閉合(接點動作可變更)無電壓觸點的最小開關容量為12V以上臺上與臺下,無法處理微小負載。
MRK(范圍標記)輸出 3分 無電壓接點技術發展,接點容量24VDC/AC以下集聚效應,0.1A以下 預熱時間 20分鐘內 尺寸 身體 288 (W) x 144 (H) x 400 (D) mm(不包括突出部分) 質量 約10公斤 氣體
連接口入口 RC1 / 8 旁路輸出 RC1 / 8 奧特萊斯 RC1 / 4 使用的電源 100-120VAC ± 10% 200VA 50Hz / 60Hz
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