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    日本Tem-Tech半導(dǎo)體CMP漿料用壓力傳感器SE3000：高精度耐腐蝕

    發(fā)布時(shí)間： 2025-07-31　　點(diǎn)擊次數(shù)： 13次
    在半導(dǎo)體制造過(guò)程中全面闡釋，化學(xué)機(jī)械拋光（CMP）工藝對(duì)壓力控制的精度和可靠性有著要求。日本Tem-Tech的SE3000壓力傳感器憑借其高精度、耐腐蝕的特性有序推進，成為CMP漿料壓力監(jiān)測(cè)的理想選擇保持競爭優勢。

    高精度測(cè)量

    SE3000壓力傳感器具備高精度的測(cè)量能力實際需求，其綜合精度可達(dá)±1%FS（滿量程）的特點，能夠確保在CMP工藝中對(duì)漿料壓力的精確控制應用創新。這種高精度測(cè)量對(duì)于保證晶圓表面的平整度和拋光質(zhì)量至關(guān)重要體系。

    耐腐蝕設(shè)計(jì)

    該傳感器采用PFA（全氟烷氧基）一體成型的氣球結(jié)構(gòu)，接觸液部分未使用金屬或O形圈和諧共生，因此非常適合強(qiáng)酸和強(qiáng)堿等腐蝕性流體的測(cè)量提高。這種設(shè)計(jì)不僅解決了傳統(tǒng)氣球結(jié)構(gòu)可能導(dǎo)致的污染和離子問(wèn)題，還提高了傳感器在惡劣化學(xué)環(huán)境中的使用壽命用上了。

    廣泛的測(cè)量范圍與靈活的輸出選項(xiàng)

    SE3000支持多種測(cè)量范圍結構，包括-0.1至1MPa，能夠滿足不同CMP工藝的壓力監(jiān)測(cè)需求生產製造。此外拓展基地，該傳感器還提供多種輸出信號(hào)選項(xiàng)綜合措施，如4～20mADC（2線式）多元化服務體系、0～5VDC、1～5VDC攜手共進、0～10VDC（3線式）實力增強，方便與各種控制系統(tǒng)集成。

    可靠性與維護(hù)

    SE3000具備堅(jiān)固的雙層隔膜設(shè)計(jì)促進進步，能夠承受高達(dá)1MPa的壓力供給。同時(shí)，傳感器配備了泄漏指示器更高要求，可及時(shí)通知用戶更換時(shí)間積極參與，確保設(shè)備的可靠運(yùn)行。

    應(yīng)用場(chǎng)景

    SE3000廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造中的CMP工藝經驗分享，用于監(jiān)測(cè)漿料的壓力探討，確保拋光過(guò)程的穩(wěn)定性和一致性新技術。其耐腐蝕特性和高精度測(cè)量能力使其成為半導(dǎo)體制造中的監(jiān)測(cè)設(shè)備。

    總結(jié)

    日本Tem-Tech的SE3000壓力傳感器以其高精度共創美好、耐腐蝕的特性趨勢，為半導(dǎo)體CMP工藝提供了可靠的解決方案。無(wú)論是應(yīng)對(duì)強(qiáng)酸強(qiáng)堿的化學(xué)環(huán)境預判，還是實(shí)現(xiàn)精確的壓力控制，SE3000都能滿足用戶對(duì)高質(zhì)量半導(dǎo)體制造的需求。


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