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    Tokyo Keiso VF3000流量傳感器：半導(dǎo)體制造流程的理想選擇

    發(fā)布時(shí)間： 2025-05-09　　點(diǎn)擊次數(shù)： 9次
    在半導(dǎo)體制造過程中穩定發展，對超純水重要的意義、水、低粘度藥液等的流量管理至關(guān)重要各項要求。為此無障礙，日本Tokyo Keiso公司推出了VF3000系列渦街流量傳感器參與水平，該產(chǎn)品以其結(jié)構(gòu)簡單預判、清潔度高而著稱讓人糾結，非常適合用于這些精密流體的流量控制不斷完善。

    產(chǎn)品特點(diǎn)

    VF3000流量傳感器采用PFA（全氟烷氧基樹脂）材質(zhì)，這種材料以其優(yōu)異的耐腐蝕性和純凈度而廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造領(lǐng)域全面革新。傳感器的設(shè)計(jì)簡潔勞動精神，易于清潔穩定發展，有助于維持流體的超純度，避免污染落到實處。此外效果，VF3000還具有以下特點(diǎn)：
    • 高清潔度：所有接觸流體的部分均采用PFA材質(zhì)，確保了流體的純凈度營造一處。
    • 寬流量范圍：能夠測量從0.3升/分鐘到150升/分鐘的流量服務水平，適用于多種應(yīng)用場景。
    • 高可靠性：采用卡爾曼渦旋檢測方法保供，提高了測量的準(zhǔn)確性和可靠性能力建設。
    • 低壓降：設(shè)計(jì)優(yōu)化，減少了流體通過時(shí)的壓力損失技術創新。
    • 維護(hù)簡便：由于結(jié)構(gòu)簡單醒悟，減少了維護(hù)需求。

    技術(shù)規(guī)格

    VF3000系列流量傳感器的技術(shù)規(guī)格如下：
    • 測量流體：超純水更優美、純水需求、水、低粘度化學(xué)品更為一致。
    • 流體溫度：0 ~ 90°C各方面。
    • 流體壓力：0 ~ 0.5 兆帕。
    • 流量范圍：根據(jù)型號不同落地生根，從0.3升/分鐘到150升/分鐘不等占。
    • 精度：±3% F.S.。
    • 材料：身體和管道采用新PFA成效與經驗，接頭可采用PFA或NewPFA更讓我明白了，渦旋探測器采用壓電元件（用新PFA模制）。
    • 過程連接：PFA管端或各種接頭提供了有力支撐，連接管尺寸根據(jù)型號不同而有所差異飛躍。
    • 輸出：提供電流輸出、脈沖輸出和帶電流/報(bào)警輸出的顯示模式積極。
    • 電源：直流10.8 ~ 26.4V最為突出、0.5 ~ 2W。
    • 防護(hù)等級：IP64（JIS C0920 防睫毛結(jié)構(gòu)）特點。

    應(yīng)用場景

    VF3000系列流量傳感器適用于半導(dǎo)體制造過程中的超純水、水、低粘度藥液等的流量管理意見征詢。此外組成部分，它還適用于需要高清潔度的其他工業(yè)應(yīng)用，如制藥、食品加工等高效化。

    結(jié)論

    Tokyo Keiso的VF3000系列流量傳感器以其高清潔度大大提高、寬流量范圍和高可靠性，成為半導(dǎo)體制造過程中理想的流量控制解決方案完成的事情。其簡潔的設(shè)計(jì)和優(yōu)異的性能使其在多種工業(yè)應(yīng)用中都能發(fā)揮重要作用調整推進。


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