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    Tokyo Keiso VF3000流量傳感器：半導(dǎo)體制造流程的理想選擇

    發(fā)布時間： 2025-05-09　　點擊次數(shù)： 236次
    　　在半導(dǎo)體制造過程中簡單化，對超純水影響、水引領、低粘度藥液等的流量管理至關(guān)重要。為此結構重塑，日本Tokyo Keiso公司推出了VF3000系列渦街流量傳感器解決，該產(chǎn)品以其結(jié)構(gòu)簡單指導、清潔度高而著稱，非常適合用于這些精密流體的流量控制智能化。
     
    　　產(chǎn)品特點
     
    　　VF3000流量傳感器采用PFA(全氟烷氧基樹脂)材質(zhì)科技實力，這種材料以其優(yōu)異的耐腐蝕性和純凈度而廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造領(lǐng)域。傳感器的設(shè)計簡潔合作，易于清潔勃勃生機，有助于維持流體的超純度，避免污染極致用戶體驗。此外提供有力支撐，VF3000還具有以下特點：
     
    　　高清潔度：所有接觸流體的部分均采用PFA材質(zhì)，確保了流體的純凈度建議。
     
    　　寬流量范圍：能夠測量從0.3升/分鐘到150升/分鐘的流量技術交流，適用于多種應(yīng)用場景。
     
    　　高可靠性：采用卡爾曼渦旋檢測方法拓展，提高了測量的準確性和可靠性創造更多。
     
    　　低壓降：設(shè)計優(yōu)化，減少了流體通過時的壓力損失不斷進步。
     
    　　維護簡便：由于結(jié)構(gòu)簡單工藝技術，減少了維護需求。
     
    　　技術(shù)規(guī)格
     
    　　VF3000系列流量傳感器的技術(shù)規(guī)格如下：
     
    　　測量流體：超純水規模、純水近年來、水、低粘度化學品發展目標奮鬥。
     
    　　流體溫度：0 ~ 90°C技術先進。
     
    　　流體壓力：0 ~ 0.5 兆帕。
     
    　　流量范圍：根據(jù)型號不同延伸，從0.3升/分鐘到150升/分鐘不等認為。
     
    　　精度：±3% F.S.。
     
    　　材料：身體和管道采用新PFA新趨勢，接頭可采用PFA或NewPFA反應能力，渦旋探測器采用壓電元件(用新PFA模制)。
     
    　　過程連接：PFA管端或各種接頭學習，連接管尺寸根據(jù)型號不同而有所差異有所提升。
     
    　　輸出：提供電流輸出、脈沖輸出和帶電流/報警輸出的顯示模式新的力量。
     
    　　電源：直流10.8 ~ 26.4V先進水平、0.5 ~ 2W。
     
    　　防護等級：IP64(JIS C0920 防睫毛結(jié)構(gòu))全面展示。
     
    　　應(yīng)用場景
     
    　　VF3000系列流量傳感器適用于半導(dǎo)體制造過程中的超純水重要平臺、水、低粘度藥液等的流量管理核心技術。此外應用提升，它還適用于需要高清潔度的其他工業(yè)應(yīng)用，如制藥創造性、食品加工等發展的關鍵。
     
    　　結(jié)論
     
    　　Tokyo Keiso的VF3000系列流量傳感器以其高清潔度、寬流量范圍和高可靠性性能，成為半導(dǎo)體制造過程中理想的流量控制解決方案多種方式。其簡潔的設(shè)計和優(yōu)異的性能使其在多種工業(yè)應(yīng)用中都能發(fā)揮重要作用。
     
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