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    Tokyo Keiso VF3000流量傳感器:半導(dǎo)體制造流程的理想選擇

    發(fā)布時(shí)間: 2025-05-09  點(diǎn)擊次數(shù): 107次
      在半導(dǎo)體制造過程中能運用,對(duì)超純水活動上、水發展、低粘度藥液等的流量管理至關(guān)重要覆蓋。為此,日本Tokyo Keiso公司推出了VF3000系列渦街流量傳感器更優質,該產(chǎn)品以其結(jié)構(gòu)簡單提供了有力支撐、清潔度高而著稱,非常適合用于這些精密流體的流量控制緊迫性。
     
      產(chǎn)品特點(diǎn)
     
      VF3000流量傳感器采用PFA(全氟烷氧基樹脂)材質(zhì)質生產力,這種材料以其優(yōu)異的耐腐蝕性和純凈度而廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造領(lǐng)域。傳感器的設(shè)計(jì)簡潔系統穩定性,易于清潔背景下,有助于維持流體的超純度,避免污染。此外開展試點,VF3000還具有以下特點(diǎn):
     
      高清潔度:所有接觸流體的部分均采用PFA材質(zhì)集中展示,確保了流體的純凈度。
     
      寬流量范圍:能夠測量從0.3升/分鐘到150升/分鐘的流量規劃,適用于多種應(yīng)用場景建設。
     
      高可靠性:采用卡爾曼渦旋檢測方法,提高了測量的準(zhǔn)確性和可靠性各項要求。
     
      低壓降:設(shè)計(jì)優(yōu)化大面積,減少了流體通過時(shí)的壓力損失。
     
      維護(hù)簡便:由于結(jié)構(gòu)簡單優勢與挑戰,減少了維護(hù)需求集成應用。
     
      技術(shù)規(guī)格
     
      VF3000系列流量傳感器的技術(shù)規(guī)格如下:
     
      測量流體:超純水、純水問題分析、水迎來新的篇章、低粘度化學(xué)品。
     
      流體溫度:0 ~ 90°C不負眾望。
     
      流體壓力:0 ~ 0.5 兆帕共同學習。
     
      流量范圍:根據(jù)型號(hào)不同,從0.3升/分鐘到150升/分鐘不等推動並實現。
     
      精度:±3% F.S.。
     
      材料:身體和管道采用新PFA,接頭可采用PFA或NewPFA更加完善,渦旋探測器采用壓電元件(用新PFA模制)薄弱點。
     
      過程連接:PFA管端或各種接頭,連接管尺寸根據(jù)型號(hào)不同而有所差異密度增加。
     
      輸出:提供電流輸出應用優勢、脈沖輸出和帶電流/報(bào)警輸出的顯示模式。
     
      電源:直流10.8 ~ 26.4V信息化、0.5 ~ 2W。
     
      防護(hù)等級(jí):IP64(JIS C0920 防睫毛結(jié)構(gòu))創新內容。
     
      應(yīng)用場景
     
      VF3000系列流量傳感器適用于半導(dǎo)體制造過程中的超純水全方位、水、低粘度藥液等的流量管理實踐者。此外管理,它還適用于需要高清潔度的其他工業(yè)應(yīng)用,如制藥豐富、食品加工等。
     
      結(jié)論
     
      Tokyo Keiso的VF3000系列流量傳感器以其高清潔度、寬流量范圍和高可靠性善於監督,成為半導(dǎo)體制造過程中理想的流量控制解決方案大局。其簡潔的設(shè)計(jì)和優(yōu)異的性能使其在多種工業(yè)應(yīng)用中都能發(fā)揮重要作用豐富內涵。
     
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