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    Nasgiken SC-9200微量金屬污染物回收器:半導體制造中的創(chuàng)新解決方案

    發(fā)布時間: 2025-05-06  點擊次數(shù): 19次
      在半導體制造和納米技術(shù)領(lǐng)域,對材料的純凈度有要求講故事。微量金屬污染物的存在可能會嚴重影響產(chǎn)品的性能和可靠性結構。為此,日本Nasgiken公司推出了SC-9200微量金屬污染物回收器,專為硅晶片表面和側(cè)面的微量金屬污染物收集而設(shè)計,以提高分析效率和準確性。
     
      設(shè)備功能
     
      SC-9200微量金屬污染物回收器能夠收集附著在硅晶片表面和側(cè)面的微量金屬污染物特點,非常適合每天分析5至10個晶圓的需求。該設(shè)備具備自動清洗盛裝收集液體的容器的功能落實落細,降低人為污染的風險意見征詢,并減少工作人員之間分析準確性的差異事關全面。此外,該設(shè)備還取得了晶圓側(cè)面斜面復原以及晶圓表面親水性恢復技術(shù)製造業。
     
      技術(shù)規(guī)格
     
      根據(jù)Nasgiken的信息,SC-9200的操作控制可以通過電腦完成自動化裝置,支架具的裝卸狀態、采樣液的供給和回收均能自動進行,從而減少操作員引起的污染關規定。設(shè)備外形尺寸為690×550×790mm更多的合作機會,重量為55Kg,所需外部資源包括電源(100~240VAC)相對開放、純凈水重要方式、N2、干潔氣源相貫通。
     
      應用場景
     
      SC-9200微量金屬污染物回收器主要應用于半導體制造過程中增產,對硅晶片進行表面和側(cè)面的微量金屬污染物分析。該設(shè)備適用于需要高精度和高效率分析的環(huán)境系統,如半導體制造廠的方法、材料研究機構(gòu)等。
     
      結(jié)論
     
      Nasgiken SC-9200微量金屬污染物回收器以其高效的污染物收集能力方法、自動化操作和技術(shù)生產創效,為半導體制造領(lǐng)域提供了一種創(chuàng)新的解決方案。通過減少人為污染和提高分析準確性進行探討,SC-9200有助于提高半導體產(chǎn)品的質(zhì)量和可靠性緊密協作。
     
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