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    Nasgiken SC-9200微量金屬污染物回收器：半導(dǎo)體制造中的創(chuàng)新解決方案

    發(fā)布時(shí)間： 2025-05-06　　點(diǎn)擊次數(shù)： 106次
    　　在半導(dǎo)體制造和納米技術(shù)領(lǐng)域，對(duì)材料的純凈度有要求。微量金屬污染物的存在可能會(huì)嚴(yán)重影響產(chǎn)品的性能和可靠性。為此，日本Nasgiken公司推出了SC-9200微量金屬污染物回收器，專(zhuān)為硅晶片表面和側(cè)面的微量金屬污染物收集而設(shè)計(jì)，以提高分析效率和準(zhǔn)確性。
     
    　　設(shè)備功能
     
    　　SC-9200微量金屬污染物回收器能夠收集附著在硅晶片表面和側(cè)面的微量金屬污染物積極回應，非常適合每天分析5至10個(gè)晶圓的需求。該設(shè)備具備自動(dòng)清洗盛裝收集液體的容器的功能深化涉外，降低人為污染的風(fēng)險(xiǎn)全會精神，并減少工作人員之間分析準(zhǔn)確性的差異。此外又進了一步，該設(shè)備還取得了晶圓側(cè)面斜面復(fù)原以及晶圓表面親水性恢復(fù)技術(shù)智能化。
     
    　　技術(shù)規(guī)格
     
    　　根據(jù)Nasgiken的信息，SC-9200的操作控制可以通過(guò)電腦完成拓展基地，支架具的裝卸特性、采樣液的供給和回收均能自動(dòng)進(jìn)行，從而減少操作員引起的污染流程。設(shè)備外形尺寸為690×550×790mm共創輝煌，重量為55Kg，所需外部資源包括電源(100～240VAC)等特點、純凈水國際要求、N2紮實、干潔氣源。
     
    　　應(yīng)用場(chǎng)景
     
    　　SC-9200微量金屬污染物回收器主要應(yīng)用于半導(dǎo)體制造過(guò)程中新趨勢，對(duì)硅晶片進(jìn)行表面和側(cè)面的微量金屬污染物分析可能性更大。該設(shè)備適用于需要高精度和高效率分析的環(huán)境，如半導(dǎo)體制造廠新體系、材料研究機(jī)構(gòu)等使命責任。
     
    　　結(jié)論
     
    　　Nasgiken SC-9200微量金屬污染物回收器以其高效的污染物收集能力、自動(dòng)化操作和技術(shù)搖籃，為半導(dǎo)體制造領(lǐng)域提供了一種創(chuàng)新的解決方案持續創新。通過(guò)減少人為污染和提高分析準(zhǔn)確性，SC-9200有助于提高半導(dǎo)體產(chǎn)品的質(zhì)量和可靠性使用。
     
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