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    小型ECR原子/自由基束源(ERS-35)技術解析及應用前景

    發(fā)布時間: 2023-09-12  點擊次數(shù): 461次

    摘要:
    小型ECR原子/自由基束源(ERS-35)是一種適用于MBE等超高真空設備的先進束源。本文將介紹其特點和設備規(guī)格,并重點探討其在MBE設備用氮/氧自由基源和表面清洗用原子氫源等應用領域的潛力提供了遵循。

    QQ截圖20230912211933.jpg

    介紹:
    ERS-35采用了電子回旋共振放電技術認為,可在超高真空環(huán)境下提供穩(wěn)定的原子束或自由基束發展,廣泛應用于分子束外延(MBE)和其他超高真空設備中。其具備以下特點:

    1. wanquan金屬密封:ERS-35與超高真空設備兼容,采用wanquan金屬密封設計脫穎而出,確保在真空環(huán)境中穩(wěn)定工作,避免任何氣體泄漏和污染的方法。

    2. 易于操作的同軸電纜電源:ERS-35配備了易于操作的同軸電纜電源積極影響,簡化了功率供應的連接和控制,提高了設備的可操作性和穩(wěn)定性資料。

    3. 無金屬污染的介電襯里:為了確保高純度的束流輸出自動化,ERS-35采用無金屬污染的介電襯里,有效減少了雜質的產生和污染的風險集成。

    4. 帶偏壓電極的介電引出柵:ERS-35的介電引出柵設計了帶偏壓電極規模最大,擅長產生自由基束。這種設計允許束源輸出具有高度定向性和可調控性的自由基束。

    設備規(guī)格:

    • 連接真空端口標準:ICF70重要手段,與常見的超高真空設備接口標準兼容。

    • 同軸連接器標準:N型橫向協同,便于與其他設備進行連接和集成不折不扣。

    • 適用微波頻率:2.45GHz,與常用工業(yè)微波設備兼容穩定性。

    • 允許微波功率:最大100W最深厚的底氣,提供充足的能量供應。

    • 冷卻方式:水冷資源優勢,確保設備在長時間運行中保持合適的溫度應用擴展。

    應用實例:

    1. MBE設備用氮/氧自由基源:ERS-35能夠產生穩(wěn)定而高純度的氮或氧自由基束,可用于分子束外延(MBE)中的材料沉積和氣相外延生長振奮起來,實現(xiàn)精確的薄膜和納米結構的控制建立和完善。

    2. 表面清洗用原子氫源:ERS-35的原子束輸出適用于表面清洗和表面修飾應用。氫原子束可以高效地清除表面的雜質和氧化物增多,并恢復材料的純凈度和特性啟用。

    結論:
    小型ECR原子/自由基束源(ERS-35)通過其
    wanquan金屬密封、易操作的同軸電纜電源和帶偏壓電極的介電引出柵等特點估算,廣泛應用于MBE設備用氮/氧自由基源和表面清洗用原子氫源等領域活動上。隨著技術的進一步發(fā)展,ERS-35將為超高真空設備的研究和應用提供更多創(chuàng)新的可能性等地。


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